卓胜微滤波器通过以下方式保证高频性能:
- 采用先进的 POI 衬底材料:卓胜微的 MAX - SAW 滤波器采用 POI 衬底。POI 衬底在压电层和功能层表面以下增加额外的氧化埋层,可将在表面传播的 SAW 引入压电层和功能层,把声学能量限制在表面附近,从而改善频率温度系数(TCF)和品质因数(Q)。与传统的 TC - SAW 和 BAW 方案相比,POI 衬底在品质因数、耦合系数、频率温度系数等各测量维度均有优势,能提供更高性能的谐振器,可解决中频段和高频段的技术难题,在 sub - 3GHz 以下应用可达到 BAW 和 FBAR 的水平。
- 优化设计电极结构:卓胜微的横向耦合声学滤波器专利,通过将电极层设置在压电层表面上,电极层由物理分开的两个叉指电极及接地电极构成,两个叉指电极的电极指之间反向延伸且交叉排列,相邻两电极指之间被接地电极分隔开。这样的设计使得在一个叉指电极与接地电极之间施加射频输入电压时,能在压电层中激发出沿横向传播的声波,被另一个叉指电极检测。同时,调整压电层厚度 d 与相邻两电极指之间的中心间距 p 之间的关系,使声波存在多个横向耦合的谐振模式以及随之而来的多个零点及极点,且极点之间的距离较远,可根据实际需要选择高频的主谐振模式,实现滤波器的高频特性,还易于形成较大的滤波器带宽。
- 选择合适的工艺:卓胜微的 IPD 滤波器采用 CMOS 工艺进行制造,具有更好的一致性、更强的集成性、更小的尺寸,适用于 sub - 6GHz 频段,克服了 BAW、SAW 无法很好支持 5G 宽带的劣势,在高频段和毫米波频段上表现更优。