卓胜微 MAX - SAW 滤波器本质上还是声表面波滤波器,其技术原理基于声表面波在压电基片材料表面的传播特性。具体如下:
- 电声转换:MAX - SAW 滤波器通常在 POI 衬底上创建交错的金属叉指式换能器(IDT)。当输入电信号施加到发射换能器的叉指电极上时,由于压电效应,压电材料会产生机械变形,从而将电信号转换为声表面波信号,这些声表面波沿着 POI 衬底表面传播。
- 滤波选择:声表面波在传播过程中,只有特定频率的声表面波能够满足在衬底上传播的条件,被选择性地通过。其他频率的声表面波则会因为与衬底的相互作用、干涉等原因被抑制。这是由叉指换能器的几何结构、电极间距、压电材料的特性以及衬底的结构等因素共同决定的。通过设计这些参数,可以使滤波器对特定频率范围的信号进行滤波,让需要的频率信号通过,而阻止其他不需要的频率信号。
- 声电转换:经过滤波后的声表面波传播到接收换能器处,接收换能器利用逆压电效应,将声表面波信号重新转换为电信号输出,从而实现了对输入电信号的滤波功能。
另外,POI 衬底在压电层和功能层表面以下增加了额外的氧化埋层。这一结构能将在表面传播的声表面波引入压电层和功能层,把声学能量限制在表面附近,从而改善频率温度系数(TCF)和品质因数(Q),使 MAX - SAW 滤波器能在 sub - 3GHz 以下应用达到 BAW 和 FBAR 的水平。