华润微在 SBD 产品的生产工艺上进行了多项创新,极大地提升了产品的性能和质量。
一方面,在晶圆制造环节,华润微采用了先进的外延生长工艺。通过精确控制外延层的厚度和掺杂浓度,可以优化 SBD 的电场分布,降低反向漏电流,提高击穿电压。同时,外延生长工艺还可以提高晶圆的平整度和结晶质量,减少缺陷密度,从而提高产品的可靠性和稳定性。例如,在生产高压 SBD 产品时,华润微采用了多层外延结构,通过合理设计各层的掺杂浓度和厚度,实现了高击穿电压和低反向漏电流的良好平衡。
另一方面,在金属化工艺上,华润微引入了新型的金属材料和工艺技术。传统的 SBD 产品通常采用铝金属化,但铝金属化存在着电迁移和热稳定性差等问题。华润微采用了铜金属化工艺,铜具有良好的导电性、热稳定性和抗电迁移性能,可以显著提高 SBD 的电流承载能力和可靠性。此外,华润微还采用了先进的金属淀积和退火工艺,确保金属与半导体之间的良好接触,降低接触电阻,提高产品的性能。
在封装工艺方面,华润微也进行了创新。采用了无引线封装技术,如 QFN(Quad Flat No-leads)封装和 DFN(Dual Flat No-leads)封装。这些封装技术具有体积小、散热性能好、寄生电感低等优点,可以提高 SBD 的高频性能和可靠性。同时,华润微还采用了自动化封装生产线,提高了封装效率和质量一致性。
通过这些创新的生产工艺,华润微的 SBD 产品在性能和质量上得到了显著提升。产品具有低反向漏电流、高正向导通电流、低导通压降、高击穿电压、高可靠性等优点,能够满足不同客户在消费电子、工业控制、新能源等领域的应用需求。