一种高精度微电流测量放大器的研制

　　介绍了用于电子束曝光机束斑和束流测量的高精度电流/电压转换放大器。根据束流极其微弱这一特定情况,为了得到超低漂移、超低噪声和强抗干扰的高精度性能指标要求,采用了对称补偿电路设计方案,合理选用高精度集成电路作为电路的核心器件。为了加强抗干扰能力,对关键技术进行了针对性的有效处理。通过实际工作运行,证明效果良好工作可靠,满足了电子束曝光机束斑和束流的高精度测量要求。

　　电子束曝光机的不同束斑直径对应不同束流大小,两者有确定的对应关系。束径和束流的选择应配合适当使之处最佳状态。这是曝光机达最佳曝光制版的主要条件之一。这就要求准确快速地检测束斑和束流,并把检测结果送入计算机,计算机把检测结果与最佳数据相比较,再根据比较结果。