卓胜微 POI 衬底主要应用于 MAX-SAW 高端 SAW 滤波器。其工作原理是通过在压电层和功能层表面以下增加额外的氧化埋层，将原本沿表面传播且会深入基板导致体声波泄露的 SAW 引入压电层和功能层，把声学能量限制在表面附近。

这样做可以改善频率温度系数（TCF）和品质因数（Q），降低体声波泄露，提高能源效率。同时，基于 POI 衬底的 SAW 滤波器工艺流程较简单、成本较低，性能在 sub-3GHz 以下应用可达到 BAW 和 FBAR 的水平。

卓胜微 POI 衬底的研发始于对滤波器技术升级的需求，经过了工艺探索、量产筹备到规模应用等阶段，以下是其具体研发历程：

• 技术选型与工艺探索：卓胜微决策层深入分析产业趋势、材料演进路径等因素后，决定投入自研滤波器，选择了 POI（压电氧化物集成）衬底技术路线。POI 衬底是在压电层和功能层表面以下增加额外的氧化埋层，可将在表面传播的声表面波（SAW）引入压电层和功能层，把声学能量限制在表面附近，从而改善频率温度系数（TCF）和品质因数（Q）。公司围绕该路径，在资源投入、专利布局与生态协同方面进行建设，与多家主流设备商开展适配核心工艺的联合设备开发，构建专用测试平台和工艺材料评价体系。
• 产线建设与量产筹备：卓胜微自建芯卓 SAW 滤波器产线。2023 年，SAW 滤波器的工艺研发平台搭建完毕，芯卓产线具备了稳定、规模量产自有品牌 MAX - SAW（高端 SAW 滤波器，采用 POI 衬底）的能力。在此过程中，卓胜微锁定国内一流衬底供应商，随着供应商批产能力提升，POI 衬底价格大幅下降，经济性优势逐步显现。同时，公司也从国内外采购原材料，对原材料采购进行多元化布局，以保障产业生态安全。
• 专利布局与市场应用：2024 年 7 月，卓胜微对村田制作所 “弹性波装置” 专利发出无效请求，该专利涉及卓胜微高端滤波器 MAX - SAW 的 POI 衬底材料，此次专利无效宣告成果稳固支撑了公司 MAX - SAW 技术发展路径。之后，卓胜微将采用 POI 衬底的 MAX - SAW 滤波器集成在滤波器模组中实现大规模出货，且已应用在 L - PAMiD 等产品中，部分产品已在部分品牌客户验证通过，在 5G 滤波器领域逐步占据市场份额。