据 2024 年 12 月 14 日微信公众号消息，卓胜微共计取得 132 项专利，其中国内专利 130 项（包含发明专利 77 项）、国际专利 2 项（均为发明专利）；21 项集成电路布图设计。以下是卓胜微 2024 年部分新增专利情况：

实用新型专利

• 半导体硅片加热装置：2024 年 12 月 17 日获得授权，专利号为 CN202323431938.2。该装置主要由箱体、加热机构、温度传感器、报警装置及控制器组成，可提高硅片处理的效率与质量。
• 除尘装置：2024 年 11 月 19 日获得授权，专利号为 CN202420334581.1。可解决现有技术中对搬运车除尘过程中无法有效避免对洁净室的污染的问题。
• 芯片分拣装置：2024 年 6 月 21 日获得授权，专利号为 CN202322898932.X。通过设置传送机构和吹气机构，可提高芯片分拣装置的作业效率。
• 一种离子注入机及其离子源设备：2024 年 5 月 17 日获得授权，专利号为 CN202322725359.2。能够避免离子源腔室干泵因与离子源区域运动件密封腔室气体连通而导致的突然卡死问题。

发明专利

• 一种声表面波谐振器和射频滤波器：2024 年 12 月 17 日获得授权，专利号为 CN202110378688.7。可以使横向模式波纹得到有效的抑制，优化了设备的频率稳定性与温度敏感性，从而能够更稳定地在复杂环境中运行。
• 一种光刻机：2024 年 2 月 9 日获得授权，专利号为 CN202211533404.8。解决了现有供气装置设置于光刻机外，通过气管与工作舱连通时容易造成无尘腔污染的情况。