卓胜微的滤波器主要有基于 POI 衬底的 MAX-SAW 滤波器和 IPD 滤波器,与其他常见的滤波器技术路径对比如下:
SAW 滤波器
- 原理:利用压电陶瓷、铌酸锂、石英等压电石英晶体振荡器材料的压电效应和声表面波传播的物理特性制成的一种换能式无源带通滤波器 。
- 性能:在低频段性能不错,但在高频段性能相对较弱,通常 1GHz 以上表现会逐渐衰弱 。例如在 5G sub-6GHz 频段中,其高频性能不如 BAW 滤波器 。
- 成本:相对 BAW 滤波器成本较低,且没有 BAW 那么复杂的生产工序和较高的制造成本 。
- 应用:普通 SAW 滤波器既用于手机也用于网通终端设备,TC-SAW、TF-SAW 主要用于手机.
BAW 滤波器
- 原理:声波在 BAW 里垂直传播,使用石英晶体作为基板,贴嵌于石英基板顶、底两侧的金属对声波实施激励,使声波从顶部表面反弹至底部,以形成驻声波 。
- 性能:在中高频段性能优异,高频性能比 SAW 滤波器好,尺寸还随频率升高而缩小,适合用于 5G 的中高频段及更高频段通信。比如在 5G 手机中,高端旗舰手机常采用 BAW 滤波器.
- 成本:由于其生产工艺复杂,工序较多,使用的是 8 英寸晶圆,虽然产出量比 SAW 多 4 倍,但整体成本更高.
- 应用:一般用于中频段和高频段,是接替 SAW 滤波器的新一代滤波器技术,5G 发展中后期,随着新增频段基本高于 3GHz,其需求会上升.
IPD 滤波器
- 原理:半导体无源器件,主要用于 LC 滤波电路.
- 性能:一般用于 3GHz 以上频段,在高频段有一定优势,随着 5G 的发展,其用量逐渐提升.
- 成本:生产要用到光罩,规模量产成本更低,通常采用 Fabless 模式.
- 应用:主要以 IPD 技术集成到芯片中的方式应用,作为分立器件出货数量较少.
LTCC 滤波器
- 原理:通过多层陶瓷与金属内电极共烧形成三维立体结构,实现滤波功能.
- 性能:在高频性能上不如 BAW 和 IPD 滤波器,但具有较好的温度稳定性和较低的插入损耗.
- 成本:成本最低,和半导体工艺相关性不大,几乎都是 IDM 模式.
- 应用:可用于手机、网通设备、5G 基站等,随着 5G 的到来,其用量也会有所提升.
卓胜微 MAX-SAW 滤波器
- 原理:基于 POI 衬底的 SAW 滤波器,在压电层和功能层表面以下增加额外的氧化埋层.
- 性能:性能在 sub-3GHz 以下应用可达到 BAW 和 Fbar 的水平,相比传统 SAW 滤波器,改善了频率温度系数(tcf)和品质因数(q),能源效率更高,能解决中频段和高频段的技术难题.
- 成本:相对 BAW 来说,POI SAW 工艺流程更简单且成本更低.
- 应用:可应用于 5G 滤波器等领域,在 5G 频段中低频段和中频段有较好的应用前景,其以集成在模组中的形式为主推向市场.