长江存储晶栈®Xtacking® 架构推出前,市场上的3D NAND主要分为传统并列式架构和CuA(CMOS under Array)架构。长江存储通过创新布局和缜密验证,经过长达9年在3D IC领域的技术积累和4年的研发验证后,终于将晶圆键合这一关键技术在3D NAND闪存上得以实现。在指甲盖大小的面积上实现数十亿根金属通道的连接,合二为一成为一个整体,拥有与同一片晶圆上加工无异的优质可靠性表现,这项技术为未来3D NAND带来更多的技术优势和无限的发展可能。随着层数的不断增高,晶栈®Xtacking® 所研发制造的3D NAND闪存将更具成本和创新优势。
晶栈®Xtacking® 可实现在两片独立的晶圆上加工外围电路和存储单元,这样有利于选择更先进的逻辑工艺,从而让NAND获取更高的I/O接口速度及更多的操作功能。当两片晶圆各自完工后,创新的晶栈®Xtacking® 技术只需一个处理步骤即可通过数十亿根垂直互联通道(VIA)将两片晶圆键合,合二为一。