Omron欧姆龙MEMS流量传感器作为减轻环境负担的新一代燃料电池系统零部件,MEMS流量传感器发挥着重要的作用。 燃料电池的原理就是将城市燃气中含有的氢气与氧气混合在一起,需要使氢气与氧气在最佳混合比率的情况下进行燃烧产生化学反应进行发电。为了尽量提高发电效率。为了达到这一目的,需要发挥MEMS流量传感器的高精度测试技术。
欧姆龙采用独创的超细微加工技术,开发了装配有流速检测元件的MEMS流量传感器。拥有引以为傲的世界最高级别灵敏度,甚至是1毫米/秒的气体流速变化也能精确检测。随着燃料电池的普及,对欧姆龙小型、高性能MEMS流量传感器用途的期待也不断高涨。为了检测微量的流速,就需要缩小装在MEMS流量传感器检测部位的MEMS流量传感器芯片。通过充分发挥欧姆龙独创的高精度加工技术,创造出世界最小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米,厚0.4毫米)的芯片。 其测试原理如图所示,在没有气体流动的情况下以加热器为中心,温度分布左右对称;如有气体流动,风的下方就会变热,加热器排出的风的上方就会变冷,从而导致温度失衡。此温度差作为两个热电偶的电动势差,可用于检测流速及流量。另外,通过应用欧姆龙独创的蚀刻技术等,即使是这种超精细的MEMS,也能高精度地实现质量稳定的大批量生产。凭借这种高度的MEMS生产性,从而不仅在燃料电池方面,欧姆龙大幅度降低了产品成本,还可广泛应用于检测精密设备的空冷状态等各种领域。
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